光刻机之战-3
《光刻机之战》里面关于日本人如何打败美国的描述非常粗糙。考虑到日本和欧洲当时的情况对我国今天发展集成电路业很有借鉴意义,所以计划再分两三次聊一下这些故事。
一、
再80年代初,为了不被强劲发展的美日甩开距离,欧洲共同体在高科技领域推出政府资助主导的「尤里卡计划」。在这个计划框架内,有个关于集成电路的子计划叫做JESSI。
JESSI里面最重要的一个项目叫做MEGA,就是做Megabit(1Mb)的内存。看我专栏的朋友都知道,内存就是电子业的石油,因为电子产品基本都需要用到。
MEGA项目的核心主导者是飞利浦(NXP前身)和西门子(英飞凌前身)。考虑到内存业投资巨大和风险巨大,两个公司分工了一下:飞利浦负责SRAM,西门子负责DRAM。
项目正式启动是在1984年,两大巨头计划五年内各出资约15亿马克,其中两国政府资助约5亿马克,目标是在80年代末赶上日本人。
那时美元对马克大约是1:2吧(中国职工月工资应该不到30美元),所以这是非常大的一笔钱。
MEGA项目也有很多配套厂商,包括ASML。理论上它将从MEGA项目中获益,然而实际上如何呢?我们留到后面再说。
二、
法国的Thomson公司找西门子想要合作做内存,而德国人似乎看不上法国人。结果Thomson去找了义大利的SGS公司,两公司当时都相对弱一些,决定抱团取暖参加JESSI。合并后的SGS-Thomson后来缩写成ST,就是著名的意法半导体(ST Microelectronics)。
因为当时电子电路数字化的潮流浩浩荡荡,日美公司都把绝大多数资源投入数字电路。制程落后的STM选择了避开锋芒,在模拟和混合电路上找到了立足点,他们在低级的EPROM上也赚了不少钱。
西门子则选择了弯道超车,直接从日本东芝引进DRAM技术,顺利在1987年量产了1Mb DRAM,甚至领先了美国人。
因为这个原因,西门子直接引入了全套日本生产线,包括佳能光刻机。
ASML则欲哭无泪:原本案板上的鸭子飞了。说好了是欧洲政府补贴的项目,好处却给了日本人。
ASML当时产品还没有很好的成功案例,西门子不愿意做白鼠也是可以理解的。
这个大生意一丢就是十来年,ASML直到英飞凌独立才开始拿回光刻业务。
西门子MEGA项目的成功使得其内存业务蒸蒸日上二十年直到奇梦达破产,而破产根源之一是东芝退出了Trench技术联盟。(这是一种轮回么?,详见《内存的故事》)