5nm蝕刻機能不能蝕刻7nm晶元，28nm晶元？

一定是外行吧，對於蝕刻的重點不在於能不能做到5nm，7nm等等，而在於做出來的輪廓是否我們想要的。大家都說中微打進了台積電的5nm，要知道他只在上百道中run了一道，用他的和不用他的，對於台積電而言根本沒差別。要說理論上中微的機台能不能做，那一定是可以，做得怎樣？就不得而知了，因為沒人願意冒險去試。

這個問題邏輯不通，簡單來說，你買個蘋果11pro可以打電話發簡訊么？

當然可以！

但是你買蘋果11pro大部分價值不是用來打電話發簡訊的

不可以的，印象中每種光刻機發射的光的波長是固定的，而且，每一代光刻機價格差別很大，即使可以，也沒有fab廠嫌錢多，買5nm去投7nm。

是蝕刻機還是光刻機？

如果是蝕刻機，那答案是可以的，好比問用i5能否玩仙劍。但蝕刻的工藝有很多層，最後面的ALPAD和PAS圖形尺寸極大，無論5，7還是28，都是用的低端設備不存在什麼難度。

光刻機的話當然也可以，5nm涉及EUV技術，用來做7nm是沒問題的，但考慮成本的話，7nm仍然採用浸入式曝光機與多層曝光技術的方式。

5nm是指CD尺寸刻蝕機台重要的評價標準之一是深寬比深度一般以A為單位計算，1nm=10A 具體你說的問題我沒法回答，因為同樣是5nm蝕刻不同的材料不同的層所要求都是不同的