光刻機之戰-3
《光刻機之戰》裡面關於日本人如何打敗美國的描述非常粗糙。考慮到日本和歐洲當時的情況對我國今天發展集成電路業很有借鑒意義,所以計劃再分兩三次聊一下這些故事。
一、
再80年代初,為了不被強勁發展的美日甩開距離,歐洲共同體在高科技領域推出政府資助主導的「尤里卡計劃」。在這個計劃框架內,有個關於集成電路的子計劃叫做JESSI。
JESSI裡面最重要的一個項目叫做MEGA,就是做Megabit(1Mb)的內存。看我專欄的朋友都知道,內存就是電子業的石油,因為電子產品基本都需要用到。
MEGA項目的核心主導者是飛利浦(NXP前身)和西門子(英飛凌前身)。考慮到內存業投資巨大和風險巨大,兩個公司分工了一下:飛利浦負責SRAM,西門子負責DRAM。
項目正式啟動是在1984年,兩大巨頭計劃五年內各出資約15億馬克,其中兩國政府資助約5億馬克,目標是在80年代末趕上日本人。
那時美元對馬克大約是1:2吧(中國職工月工資應該不到30美元),所以這是非常大的一筆錢。
MEGA項目也有很多配套廠商,包括ASML。理論上它將從MEGA項目中獲益,然而實際上如何呢?我們留到後面再說。
二、
法國的Thomson公司找西門子想要合作做內存,而德國人似乎看不上法國人。結果Thomson去找了義大利的SGS公司,兩公司當時都相對弱一些,決定抱團取暖參加JESSI。合併後的SGS-Thomson後來縮寫成ST,就是著名的意法半導體(ST Microelectronics)。
因為當時電子電路數字化的潮流浩浩蕩蕩,日美公司都把絕大多數資源投入數字電路。製程落後的STM選擇了避開鋒芒,在模擬和混合電路上找到了立足點,他們在低級的EPROM上也賺了不少錢。
西門子則選擇了彎道超車,直接從日本東芝引進DRAM技術,順利在1987年量產了1Mb DRAM,甚至領先了美國人。
因為這個原因,西門子直接引入了全套日本生產線,包括佳能光刻機。
ASML則欲哭無淚:原本案板上的鴨子飛了。說好了是歐洲政府補貼的項目,好處卻給了日本人。
ASML當時產品還沒有很好的成功案例,西門子不願意做白鼠也是可以理解的。
這個大生意一丟就是十來年,ASML直到英飛凌獨立才開始拿回光刻業務。
西門子MEGA項目的成功使得其內存業務蒸蒸日上二十年直到奇夢達破產,而破產根源之一是東芝退出了Trench技術聯盟。(這是一種輪迴么?,詳見《內存的故事》)