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可能中科院院長的位置就是你的了！

以後你就不敢出國了 外國友人敵視你，說你篡取他人的技術！出門可能和封疆大吏一樣的待遇甚至更高！以後你就是大熊貓！會有人來定時定點的來給你投喂！

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我來澄清一個誤區。由於涉及到一些敏感信息，匿了。

什麼是5nm製程的晶元？

目前5nm製程的晶元有台積電已經量產的FinFET和在研發的GAA兩種，這裡只談FinFET。查閱台積電的road map可知5nm FinFET的X方向的Fin周期(Fin Pitch)大概在28nm左右，Y方向的Gate Pitch(Poly Pitch)大概在51nm左右。用波長13.5nm的EUV曝光出這樣的pitch不難吧？那5nm製程代表什麼呢？其實自從晶元越做越小，當摩爾定律走到極限時，傳統的從source到drain的距離已經不能描述幾nm製程了。真要追究的話，可以用「從source到drain的有效距離」來描述。在Gate里(原來是填Dummy Poly的，後續工藝掏空後填HKMG)的HKMG是呈U字型的，U字型底部SiO2/HK/MG的長度大概就是5nm。然後一根Tungsten作為導線插入U字型與外面相連。

整個transistor沒有行業外人士所想像的只有5nm那麼小吧？

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現在國家的瓶頸不是光刻機，是晶元生產技術。

生產技術又是因為沒有下遊客戶，賺不到錢投入迭代研發。

asml怎麼來的，是因為有台積電，三星這樣的大客戶力捧，砸錢，才有euv光刻機。

台積電怎麼超越嚶特爾的，是因為蘋果，安卓類手機arm晶元需要旺盛，下訂單給台積電。

所以如果中國如果有五，六家海思，像美國的amd,英偉達，高通一樣，下單給中國晶元廠。

中芯國際之類就有錢請更多人材，可以砸錢養上游的設備，材料廠商。

其實中國有很好的條件，下游五大手機廠商三家在中國，只要這些廠商像華為一樣扶植自己的晶元設計廠商，就能把市場循環養起來。

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很多人誤解……光刻機不僅僅是一個產品，還是全業界一起努力的一個行業結果，難的是支撐其出現的背後的產業鏈。

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換個姿勢接著睡

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