曾今在實驗室手工做過光刻，做的是電極，解析度大概是10um , 其實對於10um 的精度難度並不大，在家裡DIY是完全可以實現的，至於1um 還沒嘗試過，以下簡單介紹下10um 光刻的方法。

首先，實驗室使用的光刻機是JKG-2A 型光刻機， 就長下圖這樣，雖然也叫光刻機，其實沒有什麼技術含量，1個汞燈和簡單的透鏡組產生平行光，本身不具備圖像縮放能力，適用於接觸式曝光。

JKG-2A

下面是網上找到的部分技術參數，參數顯示這臺設備是可以達到2um解析度的；除了汞燈組成的照明系統以外，還配備了一臺光學顯微鏡和一個移動工件臺，這兩部分可以實現目視手動對準，也就是套刻精度， 對準精度取決於顯微鏡的放大倍數和工件臺的移動精度，而對於只製作一層光刻的話這一部分是可以省略掉的。

所以簡單講，光刻曝光這一部分只需要一個汞燈和一個產生平行光的透鏡組就可以了。

然後，除了曝光系統以外，光刻膠塗敷也是很重要的；光刻膠塗敷使用的下圖這種叫勻膠機的東西，其實就是一個可以控制轉速的平臺，把矽片吸附在中間那個平臺上，滴上光刻膠，高速旋轉甩開就可以了。這一部分淘寶買或者自己DIY 也不會有什麼問題。

勻膠機

當然，光刻工藝中的前烘和後烘 (也分別叫soft bake 和 hard bake) 也是很重要的，也就是對塗敷了的光刻膠進行加熱處理，下圖這種恆溫加熱臺就可以了。

到此為止設備差不多了， 再就是材料準備，光刻膠的話淘寶就有：

另外一個很重要的東西是掩模版，最簡單的光刻方式是接觸式曝光，也就是直接把掩模版緊密的貼到塗敷了的光刻膠上，所以在光刻系統光學解析度極限以上，光刻的精度主要就有掩模版決定了。掩模版哪裡來呢？ 當然還是萬能的淘寶，比如下圖這種可以定製圖案，店家提供的線寬可以達到2um.

基本準備工作這麼多就夠了，剩下的化學藥品也都很簡單，備齊就可以開工了，並沒有什麼大功率電器的問題；如果總的電路面積不大，潔凈室也不是必要的，只要有小的區域沒有掉上灰塵就可以用，基本是概率問題。 另外，光刻膠有揮發毒性，需要做好安全防護和通風。

最後，為了證明操作方法真實可行，放上一張我做的渣電路的SEM 圖，圖中最小線寬和間距均為10um，純手工作坊出品。

上面這臺國產標價也不到10萬，耗電沒有那麼誇張，汞燈功率就幾百瓦，民用電也沒問題。

Diy電腦也不是自己做CPU, GPU，購買組件自己定製一臺光刻機也不是完全沒希望。

光刻機畢竟不是消費電器，模塊化程度比較低，汞燈，電源，顯微鏡加上顯示器算是比較容易買的；載片臺，氣浮能找到，但是可以配合直接用的不容易；水冷太複雜也有風冷的；核心的光學鏡組就困難了，買到各種鏡片自己調教平行光太考驗功力，不如買現成的模塊，但是關鍵他還不容易壞，市面上配件也少。

最好的辦法是市面上找找二手國產設備，應該見過一萬多的，多買幾臺不同型號的，也還是可以竄出自己的風格的。祝你好運。

你需要：

1.汞燈，2定時曝光系統，3.載片臺，4.顯微鏡，5.冷卻系統（液氮），6.配套甩膠機、光刻膠、顯影液、烘膠臺，7.配套清洗間，8.廢液廢氣處理回收系統，9.黃光燈管。

差不多就這些了，好一點再配個空氣凈化器（凈化程度萬級以內吧，顯然我說的不是小米凈化器）

一套下來30萬得有了吧。你看看有沒有這麼多錢，以及你購買某些危險品的時候會不會被查水錶。

你排放某些危險品的時候會不會被查水錶。

哦，光刻機工作的時候你家估計要跳電閘了，哈哈。

至少得有個超凈間吧，這樣一來你家至少要三層樓

還是買一臺吧，很多零部件都是專門定製的，不通用，產量也不多。僅光刻機沒啥用，其它相關設備幾十臺/套，1微米晶元全套生產線得花十幾億rmb。

想多了……

1mm可能有戲

當年前公司買過一臺老光刻機，1um精度都不一定達得到，價格是幾百萬美元。要是在家就能diy，那北上深買房就不是個事兒了

1um 你知道有多小嗎？1um=0.001mm，算算吧.

最方便的應該是多看點相關的書，然後做夢吧，很可能夢到的

你說的是光刻的最小圖形線寬是1um嗎，既然是家用，不是工業用，十萬塊錢就可以了，簡陋的

或者你給我十萬，我幫你做一臺玩玩

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