广化公司的自动化桥式整流固晶机在全球市场具有重要的领导地位,全球重要的桥式整流器件封装业者,有90%以上采用广化设备来完成高品质高产量的自动化产线,而今年度光电展中广化科技首次曝光国产第一台金属固晶可量产机台,更获得业界热切关注。
  广化科技董事长张维仲表示,该公司于光电展中首次曝光国产第一台金属固晶可量产机台,目前正进入最后阶段500小时及1,000小时高温高湿测试,预估在明年会有显著的业绩贡献度,张维仲提及目前固晶机市场都还是国外大厂所掌控,以ASM pacific为代表,固晶机市场本身有要求高精度的技术门槛,同时也有与客户研究规格共同开发需长时间的投入,平均须2年的开发时期造成许多设备大厂未投入,算是一项有技术门槛及行销障碍的产业。
  广化科技参与工研院机械所开发之最新固晶技术低温固晶/固液扩散制程,此技术以低温(90℃)及局部加热方式进行固晶制程,再以 150℃/30min之条件进行固液扩散,所完成产品,其再融温度可达25 8℃~260℃,此技术达成「低温制程,高温应用」,是极佳的高功率 LED固晶方式。低温固晶/固液扩散制程以热蒸镀方式于晶粒背面镀一层低温焊接材料,利用低温熔解的特性以快速局部加热方式固晶。
  张维仲强调广化科技第一台金属固晶可量产机台设备设计概念在于将低温固晶之2项主要制程动作(热低温固晶、固液扩散),整合在单一自动化设备中,该设备具有的特性,包括:1、自动进出料,入料的部分以堆叠入料设计,可有效节省空间及增加容量。2、热固晶轨道之设计可提供稳定的可程式化温度及含氧量小于100ppm之固晶环境。3、高精度之线性取放头及稳定的顶针设计可有效提高固晶精度,取放头具备旋转功能以供晶粒角度补正及磊晶功能。4、具备晶粒位置及角度自动化影像补正功能的晶圆平台。5、在固液扩散制程上,以热风式烤箱作为设计基础,可节省空间、提升产能及制程稳定性。6、具备多重影像检测功能,除晶圆平台定位系统外,在晶粒捡取后也具备另一系统由下方检测晶粒在吸取头上的位置,借此补正晶粒 X/Y/θ方向偏移。 <撷录工商>

 

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