浮膠是顯影或腐蝕過程中常出現的一種不良現像，也是影響較為嚴重的一種光刻弊病。

顯影時產生的浮膠

在顯影時，玻璃表面的膠膜皺起呈桔皮狀或膠膜大片剝離。產生這一現像，說明膠膜與玻璃表面ITO層粘附不好，得認真找出原因。同時，出現問題的玻璃得返工。

顯影時出現浮膠的原因一般有：

1）塗膠前玻璃表面清潔處理不當，表面有油污，不汽等，或玻璃清潔後在空氣中放置時間過長，空氣中的水汽附在玻璃表面上;或者塗膜操作環境濕度太大，使膠與玻璃表面粘附不良。因此，得注意做好玻璃表面清潔處理和操作的環境的溫，濕度及清潔工作。

2）光刻膠配製有誤或膠陳舊不純，膠的光化學反應性能不好，使膠與ITO層成健能力差，或者膠膜不均勻和過厚，引起粘附不良。

3）前烘時間不足或過度。烘焙不足，膠膜內溶劑不能及時揮發，顯影時部分膠膜被溶除;烘焙過度，膠膜翹曲硬化，膠的感光特性會發生變化。所以前烘得恰當。

4）曝光不足，光硬化反應不徹底，膠膜溶於顯影液中，引起浮膠。因此在保證解析度的前提下，曝光要充分。

5）顯影時間太長，顯影液從膠膜底部不斷滲入，引起膠膜浮起。因此得控制好顯影時間。