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  三星官網

  發文稱已完成5nm FinFET工藝技術的開發,並且已經可以爲用戶提供樣品。與7nm相比,三星的5nm FinFET工藝技術將邏輯區域效率提高了25%,功耗降低了20%,性能提高了10%,從而可以在更小的芯片面積當中提供更強的性能並且功耗更低。同時在6nm和7nm工藝方面也有了很大的進展。

  除了從7nm到5nm的功率性能區域(PPA)改進之外,用戶還可以使用三星的EUV技術,在金屬層圖案化中使用EUV光刻,並減少掩膜層,同時可以提供更好的保真度。三星還將自己在7nm時代的所有知識產權用到了5nm工藝的研發當中,因此可以減少客戶從7nm過渡到5nm的成本,並可以預先驗證設計生態系統,從而縮短5nm產品開發的流程和時間。

  三星Foundry與其“三星高級代工生態系統(SAFE)”合作伙伴密切合作,爲三星5納米提供強大的設計基礎架構,包括工藝設計套件(PDK),設計方法(DM),電子設計自動化(EDA)工具和IP自2018年第四季度開始提供。此外,三星Foundry已經開始向客戶提供5nm多工程晶圓(MPW)服務。

  三星電子鑄造業務執行副總裁Charlie Bae表示:“功完成5nm開發,我們已經證明了我們在基於EUV的節點中的能力,響應客戶對先進工藝技術不斷增長的需求,以區分其下一代產品,我們繼續致力於加速基於EUV技術的批量生產。”

  目前,三星已經準備好了5nm的樣品,同時6nm已經成功流片,7nm可更快的批量生產。相比之下,臺積電5nm工藝已經進入試產階段。

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