法律顧問:趙建英律師

大家看到題目,一定會有疑問:什麼設備能花7個億?標題不夠準確,事實上,中芯國際爲了買它花了1.2億美元,即7.6億人民幣(dbq,太膨脹擅自省略了小數點後)。接下來,小編就爲大傢俱體介紹這臺設備和這個公司。!

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4.6億與7.6億

據cnBeta、環球網、快科技等多家媒體證實,2018年長江存儲從荷蘭阿斯麥(ASML)公司訂購的一臺光刻機已抵達武漢。這臺光刻機價值高達7200萬美元,約合人民幣4.6億元。

另據日經亞洲評論(Nikkei Asian Review)報道,2018年中芯國際也向阿斯麥下單了一臺價值高達1.2億美元,即7.6億人民幣的EUV(極紫外線)光刻機。值得一提的是,訂單價格與中芯國際17年年淨利潤1.264億美元大致相當。這臺機器預計將於2019年初交貨。據悉,這是中芯國際向荷蘭AMSL發出的第一張訂單。

荷蘭當地媒體《埃因霍溫經濟報》報道了中芯國際的這次購買

雖然是買別人的東西,但是這兩條信息還是足夠令國人興奮,畢竟這種機器咱們造不出來,人家不賣給咱們,自己的芯片製造就搞不定。

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什麼是光刻機?

對於普通人來說,光刻機或許是一個陌生的名詞,但它卻是製造大規模集成電路的核心裝備,每顆芯片誕生之初,都要經過光刻技術的鍛造。

圖源:知乎@中國科學院光電技術研究所

簡單地說,光刻機就是把工程師的設計‘印入’基底材料,其核心技術長期被荷蘭、日本、德國等把持。

光刻機原理 圖源:知乎@看風景的蝸牛君

光刻機是芯片製造的核心設備之一,按照用途可以分爲好幾種:有用於生產芯片的光刻機;有用於封裝的光刻機;還有用於LED製造領域的投影光刻機。用於生產芯片的光刻機是中國在半導體設備製造上最大的短板,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。

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ASML:現代芯片不可或缺的支持者

目前,光刻機領域的龍頭老大是荷蘭ASML。阿斯麥公司ASML Holding NV創立於1984年,是從飛利浦獨立出來的一個半導體設備製造商。前稱ASM Lithography Holding N.V.,於2001年改爲現用名,總部位於荷蘭費爾德霍芬,全職僱員12,168人,是一家半導體設備設計、製造及銷售公司。

阿斯麥公司已經佔據了高達80%的市場份額,壟斷了高端光刻機市場——最先進的EUV光刻機售價曾高達1億美元一臺,且全球僅僅ASML能夠生產。Intel、臺積電、三星都是它的股東,重金供養ASML,並且有技術人員駐廠,Intel、三星的14nm光刻機都是買自ASML,格羅方德、聯電等晶圓廠的光刻機主要也是來自ASML。

上面這個就是ASML光刻機的截面圖,這臺機器價值不菲。事實上中國的芯片製造商們要想量產7nm及其以下的工藝的芯片,就必須引入EUV光刻機。

阿斯麥公司爲半導體生產商提供光刻機及相關服務,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生產效率最高,應用最爲廣泛的高端光刻機型。

目前全球絕大多數半導體生產廠商,都向ASML採購TWINSCAN機型,例如英特爾,三星,海力士,臺積電,聯電,格芯及其它半導體廠。隨着摩爾定律的發展,芯片走向了7nm以下,這就需要更高級的EUV光刻系統,全球只有ASML的NXE:3400B能夠滿足需求。

未來,只有他的EUV光刻機能夠幫助芯片接續微縮,因此這些設備縱使賣到上億歐元,都能被客戶所接受。

接下來我們走進ASML光刻機工廠,看看世界上最貴精密儀器出廠地。

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結語

一方面,AMSL對我們的企業商業態度轉變,由禁售到同意出售最先進的7nm光刻機,可以預計芯片水平將繼續提升。

另一方面,我國在光刻機領域的進步也是顯著的:

2018年5月,上海微電子宣佈成功研發90納米的高精度光刻機,半導體業內人士分析稱,攻克90納米的技術之後,拿下65和45納米就是順理成章的事了。

2018年11月31日,官方發佈消息,中國科學院光電技術研究所研製的22納米超分辨光刻裝備通過驗收,未來將可以結合雙重曝光技術,用於製造10納米級別的芯片。

僅從精度的數據上看,我們還是落後於荷蘭ASML不少。不過,看着過往的發展速度,可以相信,未來不管是光刻機還是芯片技術都會趕上來,一步一步來。

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來源:金屬加工

資料源:知乎

評論處大家可以補充文章解釋不對或欠缺的部分,這樣下一個看到的人會學到更多,你知道的正是大家需要的。。。

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