Flexwave 的原理到此就介绍完了,Flexwave 的最大优点是可以是实时快速的进行像差调节,而且调节范围几乎覆盖从低阶到高阶的所有像差,从而可以使得整个成像的像差大大降低,极大的提高了光刻机的套刻精度。
Flexwave 这么好用,只用来控制减小像差还有点太可惜了,既然可以补偿像差,当然也就可以引入像差;像差会使成像发生畸变,那么引入特定的像差就可以实现特定形状的畸变,从而将最终成像修正成我们想要的结果,并且整个过程还可以在曝光的同时快速完成,所以Flexwave 几乎相当于光刻机的Photoshop 功能一样,极大的提高了对曝光图形的精确度控制。